ФТП, 2009, том 43, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Моделирование деградации рельефа нанопористого кремния в процессе отжига в неоднородном температурном поле

Б.М.Костишко, А.В.Золотов, Ю.С.Нагорнов

Ульяновский государственный университет,
432970 Ульяновск, Россия

(Получена 22 января 2007 г. Принята к печати 9 июня 2008 г.)

Представлены результаты моделирования процессов термического отжига пористого кремния под действием высокотемпературного нагрева как в однородном температуром поле, так и в условиях наличия в системе линейного градиента температур.

PACS: 61.43.Gt, 82.20.Wt, 81.05.Rm, 81.40.Ef, 05.10.Ln, 07.05.Tp

 PDF версия (395Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster