ФТП, 2009, том 43, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Микроструктура и оптические свойства пленок In2S3, полученных термическим испарением

О.В.Гончарова, В.Ф.Гременок*

Институт физики им. Б.И. Степанова Национальной академии наук Белоруссии,
220072 Минск, Белоруссия
* Государственное научно-производственное объединение \glqq Научно-практический центр по материаловедению Национальной академии наук Белоруссии\grqq,
220072 Минск, Белоруссия

(Получена 17 марта 2008 г. Принята к печати 31 марта 2008 г.)

Представлены результаты исследования влияния микроструктуры на оптические свойства пленок In2S3, получаемых методом термического вакуумного напыления, в зависимости от их толщины. Приведены и обсуждаются данные атомно-силовой микроскопии слоев, изготовленных в идентичных технологических режимах, но обладающих различными значениями спектрального положения края поглощения. Изменение оптической ширины запрещенной зоны от 2.0 до 3.6 эВ с толщиной пленок In2S3, уменьшающейся от 450-800 до 30-50 нм, было обнаружено и объяснено изменением концентрации гранул с определенным размером и микроструктурой.

PACS: 78.66.Jg, 78.67.Bf, 81.07.Wx, 81.40.Tv, 61.43.Bn

 PDF версия (607Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster