ФТП, 2008, том 42, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде
в условиях бомбардировки компонентами плазмы

А.А.Сердобинцев\kern1pt, А.Г.Веселов, О.А.Кирясова

Институт радиотехники и электроники, Саратовский филиал Российской академии наук,
410019 Саратов, Россия

(Получена 31 июля 2007 г. Принята к печати 21 августа 2007 г.)

Изучены оптические и структурные свойства тонких пленок оксида цинка, синтезированных в условиях бомбардировки компонентами низкотемпературной плазмы. Пленки синтезировались на холодной подложке, расположенной на расстоянии от мишени, сравнимом с длиной свободного пробега выбитых из мишени частиц. Определены показатель преломления, оптическая ширина запрещенной зоны и межплоскостное расстояние исследуемых пленок. Обнаружена зависимость этих параметров от длины свободного пробега частиц, определяемой давлением в распылительной камере. Выявлена устойчивая корреляция между параметрами пленок и интенсивностью бомбардировки. Предлагается качественное объяснение, основанное на анализе энергетических условий синтеза пленок.

PACS: 55.77.Dq, 81.15.-z, 78.66.-w, 68.55.-a

 PDF версия (240Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster