ФТП, 2007, том 41, выпуск 12

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Роль синглетного кислорода
при образовании нанопористого кремния

Л.В.Беляков , Д.Н.Горячев, О.М.Сресели

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 21 мая 2007 г. Принята к печати 28 мая 2007 г.)

Исследовано влияние синглетного кислорода на образование нанопористого кремния при фотоэлектрохимическом травлении кремния p-типа. Для дискриминации химических и электрохимических процессов использовался импульсный электролиз. Импульсное травление кремния сопровождалось импульсным же освещением как в периоды, совпадающие с периодами прохождения тока, так и в бестоковые периоды. Анализ результатов показал, что при освещении по мере увеличения количества нанокристаллитов кремния начинается генерация синглетного кислорода из растворенного в электролите молекулярного кислорода. Этот процесс приводит к окислению поверхности нанокристаллитов кремния и изменению характера ее пассивации.

PACS: 61.43.Gt, 78.55.Mb, 81.05.Rm

 PDF версия (159Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster