ФТП, 2007, том 41, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Использование процессов горения и взрыва наноструктурированного пористого кремния в микросистемных устройствах

С.К.Лазарук , А.В.Долбик, В.А.Лабунов, В.Е.Борисенко

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники,
220013 Минск, Беларусь

(Получена 28 ноября 2006 г. Принята к печати 15 декабря 2006 г.)

Проведено исследование процессов горения и взрыва в слоях наноструктурированного пористого кремния в зависимости от толщины слоев и времени хранения образцов после операции электрохимического анодирования. Проведена оценка количества водорода, адсорбированного на поверхности пористого кремния после анодной обработки. Количество водорода, аккумулированного в пористом кремнии, составило 4% по массе. Разработаны и изготовлены прототипные микросистемные устройства, использующие энергию исследуемых процессов. Процесс горения пористого кремния может быть использован в качестве источника энергии для кремниевых микроактюаторов, а микровзрыв может быть применен как в самоуничтожающихся кремниевых чипах, так и в технологии изготовления кремниевых интегральных микросхем для разделения кремниевых пластин на отдельные кристаллы.

PACS: 61.43.Gt, 82.40.-q, 85.90.+h

 PDF версия (252Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster