ФТП, 2007, том 41, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Обратная диффузия примеси по механизму вытеснения
в процессе геттерирования

О.В.Александров, А.А.Криворучко

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq,
197376 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 23 октября 2006 г. Принята к печати 24 января 2007 г.)

Методом численного решения системы диффузионно-кинетических уравнений выполнен анализ обратной диффузии примеси по механизму вытеснения (kick-out) в процессе геттерирования. На примере примеси Au в кремнии изучено влияние степени геттерирования и плотности дислокаций на концентрационные профили примеси и собственных межузельных атомов. Показано, что обычно используемые приближения, основанные на решении уравнения диффузии для узельной примеси с эффективными коэффициентами диффузии, могут приводить к недооценке времени геттерирования. В отсутствие дислокаций это вызвано изменением выражения для эффективного коэффициента диффузии в случае геттерирования, а также с нарушением условия локального равновесия на фронте геттерирования. При высокой плотности дислокаций процесс понижения уровня концентрации примеси обусловлен кинетикой генерации собственных межузельных атомов на дислокациях, а не диффузией примеси.

PACS: 61.72.Yx, 66.30.-h, 68.35.Fx, 81.65.Tx

 PDF версия (257Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster