ФТП, 2007, том 41, выпуск 5
ФТП, 2007, том 41, выпуск 5
| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Simulation of -beam penetration through multilayer structures
S.S.Borisov , S.I.Zaitsev
M.V. Lomonosov Moscow State University, Physical Department,
119992 Moscow, Russia
Institute of Problems of Microelectronic Technology,
142432 Chernogolovka, Russia
(Получена 16 октября 2006 г. Принята к печати 30 октября 2006 г.)
|
Using developed simulation in discrete loss approximation Monte-Carlo program we carried out analysis of secondary electrons energy spectra of multilayered structures. The possibility of determination of subsurface layers parameters using energy spectra of secondary electrons is shown as far as a way to avoid time consuming Monte-Carlo simulations for some cases. PACS: 79.20.Hx, 68.37.Nq |
| PDF версия (606Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2007, Коллектив авторов Разработано... webmaster |