| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Cтруктурные дефекты на гетерограницах и фотолюминесцентные свойства эпитаксиальных слоев GaN и AlGaN/GaN,
выращенных на сапфире
В.П.Кладько, С.В.Чорненький, А.В.Наумов, А.В.Комаров,
M.Tacano, Ю.Н.Свешников, С.А.Витусевич, А.Е.Беляев
Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина
Институт физики Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина
AMRC, Meisei University, Hino,
Tokyo 191-8506, Japan
ЗАО \glqq Элма-Малахит\grqq,
124460 Зеленоград, Россия
(Получена 11 января 2006 г. Принята к печати 25 января 2006 г.)
|
Проведена комплексная рентгенодифрактометрическая и спектрально-оптическая характеризация эпитаксиальных слоев GaN и AlN (), выращенных методом металлорганической газофазной эпитаксии на подложках монокристаллического сапфира (0001). Определены значения компонентов деформаций и плотности дислокаций, изучено их влияние на интенсивность и спектры фотолюминесценции. Результаты исследования позволили лучше понять природу и объяснить механизмы дефектообразования в эпитаксиальных гетероструктурах AlGaN/GaN. PACS: 61.10.Nz, 68.35.Ct, 68.55.Jk, 78.55.Cr |
| PDF версия (222Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2006, Коллектив авторов Разработано... webmaster |