ФТП, 2006, том 40, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Инфракрасная и субмиллиметровая спектроскопия щелевых кремниевых структур

Е.Ю.Круткова, В.Ю.Тимошенко, Л.А.Головань, П.К.Кашкаров, Е.В.Астрова$,
Т.С.Перова*, Б.П.Горшунов, А.А.Волков

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет),
119992 Москва, Россия
$ Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* Department of Electronic \& Electrical Engineering, Trinity College,
Dublin 2, Ireland
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук,
119991 Москва, Россия

(Получена 19 декабря 2005 г. Принята к печати 30 декабря 2005 г.)

Пропускание щелевых кремниевых структур с периодами 4 и 7 мкм исследовано в широком спектральном диапазоне методами поляризационно-чувствительной инфракрасной и субмиллиметровой спектроскопии. Экспериментальные результаты, полученные в диапазоне длин волн 1-10 мкм, объясняются в терминах геометрической оптики при учете рассеяния излучения. В дальнем инфракрасном диапазоне (20-2000 мкм) образцы проявляют сильное двулучепреломление, которое описывается моделью эффективной среды в электростатическиом приближении. Зарегистрировано влияние фотовозбуждения на оптическое пропускание и его анизотропию, что объясняется в рамках модели эффективной среды при учете взаимодействия излучения со свободными носителями заряда.

PACS: 81.40.Ty, 78.30.Am, 78.70.Gq, 78.66.Sq

 PDF версия (231Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster