ФТП, 2006, том 40, выпуск 7: page 788...

ФТП, 2006, том 40, выпуск 7

Содержание	Предыдущая статья	Следующая статья	Поиск

Диффузия иттрия в кремнии

Д.Э.Назыров^\kern1pt, М.И.Базарбаев, А.А.Иминов

Национальный университет Узбекистана им. М. Улугбека,
700174 Ташкент, Узбекистан

(Получена 24 ноября 2005 г. Принята к печати 12 декабря 2005 г.)

Впервые исследована диффузия иттрия в кремнии. Диффузия проводилась на воздухе или в вакууме в интервале температур

1100-1250

^oC. Температурная зависимость коэффициента диффузии иттрия в кремнии описывается соотношением

D=8

·10^-3exp(-2.9 эВ/kT) см

²с

^-1. Выявлена акцепторная природа иттрия в кремнии.

PACS: 66.30.Jt; 71.55.Cn