ФТП, 2006, том 40, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Электрические и газочувствительные свойства резистивного тонкопленочного сенсора на основе диоксида олова

О.В.Анисимов\kern1pt, В.И.Гаман\kern1pt*, Н.К.Максимова, С.М.Мазалов, Е.В.Черников

Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова при Томском государственном университете,
634050 Томск, Россия
* Томский государственный университет,
634050 Томск, Россия

(Получена 29 сентября 2005 г. Принята к печати 7 ноября 2005 г.)

На основе простой модели резистивного тонкопленочного сенсора получено аналитическое выражение, описывающее зависимости отклика на воздействие восстановительного газа от температуры, парциального давления газа, концентрации донорной примеси в пленке SnO2 и от времени после начала действия газа.

Анализ экспериментальных данных показал, что при T<510 K процессы адсорбции и десорбции молекул H2 в основном контролируются адсорбционными центрами, занятыми кислородом в форме O-2, а при T>563 K --- центрами с O-. Молекулы метана при T>=q 510 K взаимодействуют с центрами, занятыми O-.

С помощью данных по временным зависимостям отклика в широком интервале температур определены энергии активации десорбции. При T<510 K для водорода она составляет 0.36 эВ. При T>563 K для водорода и при T>510 K для метана она равна 1.3 эВ. Энергия активации адсорбции для метана равна 2.5 эВ.

PACS: 07.07.Df; 73.50.Dn; 68.43.Mn

 PDF версия (222Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster