ФТП, 2006, том 40, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Теория формирования многослойных тонких пленок на поверхности твердого тела

В.Г.Дубровский\kern1pt *,+, Н.В.Сибирев \Huge\hat , Г.Э.Цырлин\kern1pt*,+,\Huge\hat , В.М.Устинов\kern1pt*,+

* Санкт-Петeрбургский физико-технический научно-образовательный центр Российской академии наук,
195220 Санкт-Петербург, Россия
+ Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
\Huge\hat Институт аналитического приборостроения Российской академии наук,
190103 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 22 марта 2005 г. Принята к печати 16 мая 2005 г.)

Теоретически исследуется процесс роста бездислокационной тонкой пленки, осаждаемой на поверхность твердого тела из газообразной фазы. Рассматривается наиболее распространенный случай, когда монослои растут по двумерному механизму, а каждый следующий слой формируется на заполненных участках предыдущего слоя. Построена самосогласованная кинетическая модель формирования пленки, которая позволяет при известной энергетике системы и условиях роста рассчитать ее структурные характеристики на различных стадиях ростового процесса. Найдена функция распределения островков по размерам на стадии изолированного роста островков, периметр границы слоя и степень заполнения поверхности на стадии формирования сплошного слоя, средняя высота и шероховатость поверхности трехмерной пленки. Приведен алгоритм численных расчетов и примеры расчетов для модельных систем. Полученные результаты могут быть использованы для управления и оптимизации ростовых процессов в различных технологических методах осаждения тонких пленок.

PACS: 68.55.Ac, 81.15.As

 PDF версия (274Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster