ФТП, 2006, том 40, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние состояния водорода в решетке
на эффективность введения донорных центров
в кислородсодержащем кремнии

В.В.Болотов\kern1pt, Г.Н.Камаев\kern1pt*, А.В.Носков\kern1pt, С.А.Черняев\kern1pt*, В.Е.Росликов

Омский филиал Института физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук,
644027 Омск, Россия
* Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук,
630090 Новосибирск, Россия

(Получена 6 мая 2005 г. Принята к печати 6 июня 2005 г.)

Проведены исследования эффективности введения донорных центров в кислородсодержащем Si при термообработках при 450oC после предварительной гидрогенизации в плазме водорода и облучения gamma-квантами 60Co. Показано, что максимальная скорость введения донорных центров наблюдается в образцах, содержащих водород в атомарной форме. Облучение Si gamma-квантами 60Co с предварительно гидрогенизированным в плазме водорода слоем приводит к высвобождению атомарного водорода из связанных состояний. Это повышает скорость введения донорных центров при последующих термообработках при 450oC.

PACS: 81.40.Ef, 81.40.-g, 61.80.Ed, 73.30.+y

 PDF версия (189Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster