ФТП, 2005, том 39, выпуск 8: page 979...

ФТП, 2005, том 39, выпуск 8

Содержание	Предыдущая статья	Следующая статья	Поиск

Влияние эрбия и кислорода на интенсивность фотолюминесценции эрбия и состав пленок $a$ -SiO_x : H $<Er,O>$ , полученных магнетронным распылением на постоянном токе

Ю.К.Ундалов, Е.И.Теруков, О.Б.Гусев, В.Х.Кудоярова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 27 декабря 2004 г. Принята к печати 12 января 2005 г.)

Изучалось влияние различных концентраций кислорода (

C

_O₂) в газовой смеси

(20% SiH

₄+80% Ar)+O₂ и площади эрбиевой мишени (

S

_Er) на состав и фотолюминесцению Er

³⁺ аморфных пленок

a

-SiO

_x : H

<Er,O>

, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Анализ экспериментальных данных показал, что кластеры [Er--O] и [Er--O--Si--O] формируются в газовой фазе плазмы с участием конкурирующих реакций окисления и процесса распыления Si- и Er-мишеней, а также благодаря взаимодействию в газовой фазе ассоциатов [Si--O] и [Er--O] друг с другом и с кислородом. Разрыв зависимостей концентраций связанного с эрбием кислорода и эрбия в пленке,

N

_O^Er--O,N_Er=f(C_O₂,S_Er), при

C

_O₂~(5-6.5) мол% подтверждает гипотезу существования различных эрбиевых кластеров. Определены условия, при которых получаются пленки

a

-SiO

_x : H

<Er,O>

с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия на длине волны 1.54 мкм.

PDF версия (255Kb) Другие выпуски Другие журналы Помощь

Copyright (C) 2005, Коллектив авторов Разработано... webmaster