ФТП, 2005, том 39, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследование локальной электронной и атомной структуры в аморфных сплавах a-SixC1-x методом ультрамягкой
рентгеновской спектроскопии

В.А.Терехов , Е.И.Теруков *, И.Н.Трапезникова *, В.М.Кашкаров, О.В.Курило,
С.Ю.Турищев, А.Б.Голоденко, Э.П.Домашевская

Воронежский государственный университет,
394006 Воронеж, Россия
* Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 24 сентября 2004 г. Принята к печати 12 октября 2004 г.)

С помощью методов рентгеновской спектроскопии получены данные о локальной электронной и атомной структуре сплавов a-SixC1-x : H<Er>, приготовленных в тлеющем разряде (PECVD) при различных соотношениях силана и метана в газовой смеси (x=0.3-0.9). Показано, что сплавы имеют в своем составе атомы кремния и углерода с различной координацией. Кремний наблюдается в виде элементарного аморфного кремния и карбида кремния, соотношение этих фаз в пленках зависит от состава газовой смеси. Атомы углерода могут образовывать связи с кремнием в координации, близкой к таковой для кристаллического карбида кремния, с образованием также заметного количества связей C-H. Кроме того, углерод может формировать в пленке фазу элементарного углерода с различной координацией, свойственной графиту и алмазу.

 PDF версия (409Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster