ФТП, 2005, том 39, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Внутреннее трение в полупроводниковых тонких пленках, полученных методом золь--гель технологии

А.С.Ильин, А.И.Максимов *, В.А.Мошников *, Н.П.Ярославцев

Воронежский государственный технический университет,
394711 Воронеж, Россия
* Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq,
197376 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 7 июля 2004 г. Принята к печати 19 июля 2004 г.)

Разработана методика, позволяющая эффективно контролировать наличие и состав капсулированных нанофаз в наноструктурированных тонких пленках, полученных по золь--гель технологии. Приведены результаты исследований по данной методике полупроводниковых пленочных структур, предназначенных для использования в газочувствительных адсорбционных датчиках. Показаны возможность и перспективы исследования материалов, а также диагностики протекания золь--гель процессов с помощью разработанной методики.

 PDF версия (208Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster