ФТП, 2004, том 38, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Взаимодействие инфракрасного излучения со свободными носителями заряда в мезопористом кремнии

Л.А.Осминкина, Е.В.Курепина, А.В.Павликов, В.Ю.Тимошенко, П.К.Кашкаров

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет),
119992 Москва, Россия

(Получена 8 июля 2003 г. Принята к печати 9 июля 2003 г.)

Исследовано поглощение и отражение инфракрасного излучения в диапазоне 500-6000 см-1, связанное со свободными носителями заряда в слоях мезопористого кремния (пористость 60-70%), сформированных из монокристаллических пластин p-Si с концентрацией дырок Np~1020 см-3 ориентации (100). Установлено, что вклад свободных дырок в оптические параметры образцов уменьшается с ростом их пористости, а также дополнительно падает при естественном окислении на воздухе. Экспериментальные результаты объяснены в рамках модели, основанной на приближении эффективной среды Бруггемана и классической теории Друде с поправкой на дополнительное рассеяние носителей заряда в кремниевых остатках (нанокристаллах). Сравнение расчетных и экспериментальных зависимостей дает значение концентрации дырок в нанокристаллах Np~1019 см-3 для свежеприготовленных слоев и показывает снижение Np в процессе их естественного окисления.

 PDF версия (334Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster