ФТП, 2003, том 37, выпуск 12

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Фотолюминесценция в области 1.5 мкм механически обработанных слоев монокристаллического кремния

Р.И.Баталов, Р.М.Баязитов , Б.А.Андреев *, Д.И.Крыжков *, Е.И.Теруков +, В.Х.Кудоярова +

Казанский физико-технический институт Казанского научного центра Российской академии наук,
420029 Казань, Россия
* Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
+ Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 17 июня 2003 г. Принята к печати 18 июня 2003 г.)

Исследована фотолюминесценция слоев монокристаллического кремния (100), подвергнутого механической обработке (шлифовка и полировка). Обнаружен интенсивный сигнал фотолюминесценции при 77 K с максимумом при 0.83 эВ (1.5 мкм) и шириной линии 50 мэВ, появляющийся в результате термического отжига кристалла (800oC). Обсуждаются возможные причины возникновения этого сигнала, связанные с декорированием дислокаций примесными атомами.

 PDF версия (141Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster