ФТП, 2003, том 37, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Спектральная эллипсометрия аморфного гидрогенизированного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита

С.Г.Ястребов, М.Гаррига *, М.И.Алонсо *, В.И.Иванов-Омский

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* Барселонский институт материаловедения,
ЦСИС 08193 Беллатерра, Испания

(Получена 3 февраля 2003 г. Принята к печати 4 февраля 2003 г.)

Методами спектральной эллипсометрии (в интервале энергий фотонов 1--5 эВ) измерены поляризационные углы для пленок аморфного гидрогенизированного углерода, полученного магнетронным распылением графита в атмосфере аргоно-водородной плазмы. Восстановлена дисперсия мнимой и действительной частей диэлектрической функции. Показано, что в исследуемой области частот полученные данные совместимы с формализмом Крамерса--Кронига. Использование правила сумм позволило сделать вывод о неоднородном распределении плотности состояний по энергиям и выявить характерные пороговые энергии в спектре эффективной плотности состояний --- 2 и 3.8 эВ. Показана возможность описания энергетического спектра электронов с помощью гауссианов. Распределение состояний по энергиям связывается с вкладом sigma- и pi-состояний.

 PDF версия (115Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster