ФТП, 2003, том 37, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Термодинамическая устойчивость эпитаксиальных пленок GaInSb, InAsSb, GaInP

В.Г.Дейбук

Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича,
58012 Черновцы, Украина

(Получена 22 января 2003 г. Принята к печати 27 января 2003 г.)

Рассчитаны интервалы несмешиваемости и критические температуры спинодального распада тройных полупроводниковых систем Ga--In--Sb, Ga--In--P и In--As--Sb с учетом как деформационной энергии, так и эффекта пластической релаксации, обусловленного дислокациями несоответствия. Показано, что такой учет упругой энергии ведет к сужению области спинодального распада и понижению его критической температуры. Введение феноменологического параметра в формулу Метьюза--Блейксли позволило удовлетворительно согласовать теоретически рассчитанные значения критических толщин эпитаксиальных пленок с экспериментально известными.

 PDF версия (224Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster