ФТП, 2003, том 37, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Электролитический способ приготовления пористого кремния с использованием внутреннего источника тока

Д.Н.Горячев , Л.В.Беляков, О.М.Сресели

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 9 октября 2002 г. Принята к печати 11 октября 2002 г.)

Предложен новый способ получения пористого кремния, использующий в качестве источника тока разность потенциалов, которая возникает между погруженными в раствор электролита пластиной кремния и платиновым контрэлектродом. Добавка перекиси водорода в электролит на основе плавиковой кислоты и этанола позволяет управлять плотностью тока процесса и изготавливать фотолюминесцентные слои без применения внешнего источника тока.

 PDF версия (159Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster