| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Исследование слоев пористого кремния лазерным ультразвуковым методом
С.М.Жаркий, А.А.Карабутов, И.М.Пеливанов, Н.Б.Подымова, В.Ю.Тимошенко
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (Физический факультет)
и Международный учебно-научный лазерный центр,
119899 Москва, Россия
(Получена 25 июня 2002 г. Принята к печати 22 июля 2002 г.)
|
Экспериментально и теоретически исследовано распространение ультразвуковых сигналов, возбуждаемых наносекундными лазерными импульсами в пористом кремнии. Образцы представляли собой слои толщиной 5--40 мкм и пористостью 50--75%, сформированные на монокристаллической кремниевой подложке посредством ее электрохимического травления. Показано, что используемый лазерный ультразвуковой метод позволяет одновременно определять и толщину, и пористость слоя, при этом максимальные погрешности диагностики составляют порядка 1 мкм для толщины и 5% для пористости.
|
| PDF версия (179Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2003, Коллектив авторов Разработано... webmaster |