ФТП, 2003, том 37, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследование слоев пористого кремния лазерным ультразвуковым методом

С.М.Жаркий, А.А.Карабутов, И.М.Пеливанов, Н.Б.Подымова, В.Ю.Тимошенко

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (Физический факультет)
и Международный учебно-научный лазерный центр,
119899 Москва, Россия

(Получена 25 июня 2002 г. Принята к печати 22 июля 2002 г.)

Экспериментально и теоретически исследовано распространение ультразвуковых сигналов, возбуждаемых наносекундными лазерными импульсами в пористом кремнии. Образцы представляли собой слои толщиной 5--40 мкм и пористостью 50--75%, сформированные на монокристаллической кремниевой подложке посредством ее электрохимического травления. Показано, что используемый лазерный ультразвуковой метод позволяет одновременно определять и толщину, и пористость слоя, при этом максимальные погрешности диагностики составляют порядка 1 мкм для толщины и 5% для пористости.

 PDF версия (179Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster