| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Рекомбинационная неустойчивость тока в эпитаксиальных -структурах с локально введенными в -область примесными атомами и определение параметров глубоких центров на ее основе
Б.С.Муравский, О.Н.Куликов, В.Н.Черный
Кубанский государственный университет,
350040 Краснодар, Россия
(Получена 25 июня 2002 г. Принята к печати 2 июля 2002 г.)
|
Приведены результаты исследований физических процессов, вызывающих возникновение рекомбинационной неустойчивости тока в кремниевых эпитаксиальных -структурах с локальным контактом на -области структуры, получаемым посредством введения примесных атомов, создающих в запрещенной зоне кремния глубокие энергетические уровни. На основе исследования неустойчивости тока определены параметры (плотность, энергетическое положение, сечение захвата электрона) глубоких центров, создаваемых в кремнии оловом, свинцом, кадмием и никелем.
|
| PDF версия (156Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2003, Коллектив авторов Разработано... webmaster |