ФТП, 2003, том 37, выпуск 2
ФТП, 2003, том 37, выпуск 2
| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Влияние термического отжига на оптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния
А.Г.Казанский, Х.Мелл, П.А.Форш
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова,
119899 Москва, Россия
Philipps-Universitat Marburg,
D-35032, Marburg, Germany
(Получена 6 июня 2002 г. Принята к печати 14 июня 2002 г.)
| Исследовано влияние термического отжига в интервале температур C пленок микрокристаллического гидрированного кремния (-Si : H), слабо легированного бором, на спектральные зависимости коэффициента поглощения () в области энергий фотонов эВ, темновую проводимость () и фотопроводимость (). Измерения проводились при комнатной температуре. С увеличением температуры отжига наблюдалось немонотонное изменение в области энергий эВ, и . Полученные результаты объясняются изменением концентрации электрически активных примесей и образованием дефектов вследствие вызванной отжигом эффузии водорода, а также реструктуризацией связей при высоких температурах отжига. |
| PDF версия (104Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2003, Коллектив авторов Разработано... webmaster |