| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Фотоиндуцированный отжиг метастабильных дефектов в легированных бором пленках -Si : H
И.А.Курова, Н.Н.Ормонт, А.Л.Громадин
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова,
119899 Москва, Россия
Гиредмет,
109017 Москва, Россия
(Получена 17 мая 2002 г. Принята к печати 27 июня 2002 г.)
| Исследовано влияние подсветки на изотермическую релаксацию медленных фотоиндуцированных метастабильных дефектов (метастабильных электрически активных атомов примеси) в пленках -Si : H, легированных бором. Было установлено, что при наличии подсветки кинетику релаксации этих метастабильных дефектов определяют не только процессы термического отжига и фотоиндуцированного образования, но и процесс фотоиндуцированного отжига. |
| PDF версия (94Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2003, Коллектив авторов Разработано... webmaster |