ФТП, 2003, том 37, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние водородной плазмы на спектр электроотражения и спектр электронных состояний пористого кремния

Е.Ф.Венгер, Р.Ю.Голиней , Л.А.Матвеева , А.В.Васин

Институт физики полупроводников Национальной академии нaук Украины,
03028 Киев, Украина

(Получена 26 апреля 2002 г. Принята к печати 15 мая 2002 г.)

Методом модуляционной спектроскопии электроотражения исследовались образцы пористого кремния. Показано наличие мини-зон, ответственных за существование фотолюминесцентных полос (красная, зеленая и голубая). Установлено исчезновение мини-зоны, отвечающей за полосу в голубой области спектра, при обработке поверхности пористого кремния в H+-плазме. Пассивация поверхности водородом также приводит к релаксации механических напряжений, как в пористой пленке, так и в кремниевой подложке. Установлена природа электронных состояний в запрещенной зоне кремниевых нанокристаллитов.

 PDF версия (121Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster